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靶材

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趨勢研判!2024年中國靶材行業(yè)政策、市場規(guī)模、細(xì)分市場及企業(yè)分析:半導(dǎo)體市場需求恢復(fù),為靶材市場發(fā)展帶來巨大推動力[圖]

靶材,也稱為濺射靶材,是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料。通過不同的激光(離子光束)和不同的靶材相互作用得到不同的膜系,實現(xiàn)導(dǎo)電和阻擋的功能。靶材由“靶坯”和“背板”組成,靶坯是由高純金屬制作而來,是高速離子束流轟擊的目標(biāo);背板通過焊接工藝和靶坯連接,起到固定靶坯的作用,并且背板需要具備導(dǎo)熱導(dǎo)電性。

智研觀點 2024-11-11
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