2023年中國(guó)兆聲波清洗機(jī)行業(yè)發(fā)展概況：應(yīng)用領(lǐng)域逐步拓寬，芯片工藝進(jìn)步帶動(dòng)行業(yè)量?jī)r(jià)齊升[圖]

兆聲波清洗機(jī)是以高頻振效應(yīng)并結(jié)合化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對(duì)硅片進(jìn)行清洗為原理的清洗設(shè)備。兆聲波清洗工藝是一種以超聲波清洗為基礎(chǔ)而研發(fā)的新興半導(dǎo)體清洗技術(shù)，和傳統(tǒng)的超聲波清洗原理類似，不過(guò)其使用的聲波頻率高達(dá)500kHz-499GHz，這樣既保存了原有超聲波清洗的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，又對(duì)超聲波清洗的技術(shù)劣勢(shì)加以改善。